玻璃鉆孔
1、玻璃通孔技術(shù)(TGV)隨著系統(tǒng)集成技術(shù)的快速發(fā)展,硅基轉(zhuǎn)接板三維集成技術(shù)(TSV)的缺點(diǎn)(成本高、電學(xué)性能差)越來越明顯。透明玻璃屬于絕緣材料,具有介電性能優(yōu)良、氣密性好。耐腐蝕、易于加工、成本低等優(yōu)點(diǎn)。近年來,開發(fā)的玻璃通孔技術(shù)(TGV)作為TSV的替代技術(shù)正成為半導(dǎo)體行業(yè)的研究熱點(diǎn)。TGV工藝分為兩步:第一步,超快激光誘導(dǎo)玻璃改性;第二步,...
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